預抽真空管式爐的使用需嚴格遵循操作規(guī)范，以確保實驗安全與結果準確性。以下是詳細的使用步驟及注意事項：

一、使用前準備

設備檢查：

爐體外觀：檢查爐門密封條是否完好，無破損或老化，確保真空密封性能。

真空系統：確認機械泵油位在標線以上（通常位于油窗1/2~2/3處），若油質渾濁或含水需更換新油。

氣體管路：檢查惰性氣體（如氬氣、氮氣）或還原性氣體（如氫氣）的管路連接是否牢固，無泄漏。

電氣系統：確認電源線無破損，接地良好，避免觸電風險。

樣品準備：

樣品清潔：去除樣品表面油污、氧化物等雜質，防止污染爐膛。

樣品放置：將樣品置于石英舟或剛玉舟中，確保樣品分布均勻，避免局部過熱。

爐管清潔：用酒精棉擦拭爐管內壁，去除殘留物，防止高溫下揮發(fā)污染樣品。

參數設置：

溫度程序：根據材料特性設置升溫速率（建議≤10℃/min）、保溫時間及降溫速率（建議≤15℃/min）。

真空度：根據工藝需求選擇真空度（如10?3 Pa至10?? Pa），高純度材料制備需更高真空度。

氣體流量：若需通入惰性氣體，設置流量計參數（如50-200 mL/min），確保氣氛均勻。

二、操作步驟

裝樣與密封：

打開爐門，將載有樣品的舟皿緩慢推入爐管中心位置，確保樣品處于均勻溫區(qū)。

關閉爐門，旋轉鎖緊手柄至密封，檢查爐門與爐體間隙是否均勻。

抽真空：

開啟機械泵，緩慢打開真空閥，觀察真空計讀數下降至目標值（如10?3 Pa）。

若需更高真空度，關閉真空閥，啟動擴散泵或分子泵，繼續(xù)抽真空至10?? Pa。

注意：抽真空過程中需監(jiān)控泵油溫度，避免過熱導致性能下降。

通入保護氣體（可選）：

若需惰性氣體保護，先關閉真空閥，打開氣體總閥，調節(jié)流量計至設定值。

重復“抽真空-通氣體"2-3次，以置換爐內空氣，減少氧化風險。

升溫與保溫：

啟動加熱程序，觀察溫度曲線是否按設定上升，若偏差過大需暫停檢查溫控系統。

保溫階段保持爐內氣氛穩(wěn)定，避免頻繁開關爐門導致溫度波動。

降溫與取樣：

程序結束后，自然降溫至200℃以下（或按工藝要求）再關閉加熱電源。

若需快速降溫，可通入少量惰性氣體加速冷卻，但需控制流量防止樣品開裂。

待爐溫降至安全范圍（通常≤50℃），打開爐門取出樣品，避免高溫燙傷。